Tshuaj Vapor Theem Nqis Ntawm Boron Nitride

Xyoo 1979, Sokolowski ntse siv tshuab plasma ntshav los npaj cov cubic boron nitride (CBN) zaj duab xis ntawm qhov kub thiab tsis tshua muaj siab. Cov khoom siv siv yog yooj yim thiab cov txheej txheem yog qhov yooj yim kom paub, yog li nws tau tsim kho sai. Ntau yam ntawm vapor deposition txoj kev tau tshwm sim. Feeb ntau hais lus, nws feem ntau yog hais txog thermal tshuaj vapor deposition. Cov cuab yeej siv sim no feem ntau yog ua los ntawm cov tshav kub tsis siv tshuaj tiv thaiv thiab cov khoom siv cua sov. Lub txheej tuaj yeem kho tau los ntawm qhov cua sov ua kom sov (kub-phab ntsa CVD) lossis high-zaus induction cua sov (txias-phab ntsa CVD). Cov tshuaj tiv thaiv cov pa roj decomposes nyob rau saum npoo ntawm high-temperature substrate, thiab tib lub sijhawm, cov tshuaj lom neeg cov tshuaj tiv thaiv tau tso ib zaj duab xis. Cov tshuaj tiv thaiv roj yog cov roj sib xyaw ntawm BCl₃ lossis B₂H₄thiab NH₃.